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(来源:上观新闻)
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弗劳恩霍🏸🇳🇪夫可靠🌫性与集成🇧🇾研究所 📮(IZM🏁🇵🇫) 基板和面👮♀️板技术🎲组组长 Lar⏹s Boe🇨🇨ttcher 👩🦱🕶在最近的一🆚⚠次演讲中表示:“👨🦰🖤我们迫切需要研究😠新的方🇰🇳👩🎓案和新的光刻胶🚘材料,🕟以解决分辨率达🎼🇲🇨到两微米甚至😔更低的问题🇳🇫👨👦。