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弗劳恩霍🌊🚦夫可靠性与集成研🧴🗽究所 (🐓💇IZM🍡🌧) 基板和🚙💱面板技术组组🚅🖼长 L✍ars🏣 Boet🥔🤥tch🚰er 在最近👒👩⚕️的一次演讲中表示💻👩👩👦👦:“我们迫切💁🇺🇸需要研究新的方案🇧🇳😋和新的光刻胶材🎡料,以🔀💃解决分辨率达到两🔌微米甚至更低的问🔻题🚘。